Lithography

 0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Michael Wang

Ngôn ngữ: eng

ISBN-13: 978-9533070643

Ký hiệu phân loại: 641.568 Cooking for special occasions

Thông tin xuất bản: IntechOpen, 2010

Mô tả vật lý: 1 electronic resource (678 p.)

Bộ sưu tập: Tài liệu truy cập mở

ID: 203848

Lithography, the fundamental fabrication process of semiconductor devices, plays a critical role in micro- and nano-fabrications and the revolution in high density integrated circuits. This book is the result of inspirations and contributions from many researchers worldwide. Although the inclusion of the book chapters may not be a complete representation of all lithographic arts, it does represent a good collection of contributions in this field. We hope readers will enjoy reading the book as much as we have enjoyed bringing it together. We would like to thank all contributors and authors of this book.
Tạo bộ sưu tập với mã QR

THƯ VIỆN - TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TP.HCM

ĐT: (028) 71010608 | Email: tt.thuvien@hutech.edu.vn

Copyright @2024 THƯ VIỆN HUTECH