Materials and processes for next generation lithography

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Richard Lawson, Alex Robinson

Ngôn ngữ: eng

ISBN-10: 0081003544

ISBN-13: 978-0081003541

Ký hiệu phân loại: 621.38153 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting

Thông tin xuất bản: Amsterdam : Elsevier, 2016

Mô tả vật lý: xxv, 608 pages : , illustrations ; , 25 cm.

Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng

ID: 221207

Thêm vào giỏ

1. Microlithography
2. Nanolithography
3. Photoresists

Thông tin sách đang mượn và vị trí

- Số bản có sẵn: 1
- Đang mượn: 0

DÃY KỆ

8D	Thu Duc Campus

Ký hiệu xếp giá: 621.381

Tạo bộ sưu tập với mã QR