Reliability Improvement of High Mobility Oxide TFTs Based on Hydrogen-Resistant PEALD Al

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Taewon Hwang, Sang-Hyun Kim, Tae Heon Kim, Yoon-Seo Kim, Haklim Koo, Jin-Seong Park, Joon Seok Park

Ngôn ngữ: eng

Ký hiệu phân loại: 341.442 +Rivers

Thông tin xuất bản: United States : ACS applied materials & interfaces , 2025

Mô tả vật lý:

Bộ sưu tập: NCBI

ID: 231240

High quality aluminum oxide (Al

Tạo bộ sưu tập với mã QR