Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control

• Tác giả: Gary S May, Costas J Spanos
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0471784060
• Ký hiệu phân loại: 621.38152 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
• Thông tin xuất bản: [Piscataway] : Hoboken, N.J. : IEEE ; Wiley-Interscience, 2006
• Mô tả vật lý: xix, 463 p. : , ill. ; , 25 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 25405
• Chủ đề: 1. Integrated circuits--Design and construction; 2. Process control--Statistical methods; 3. Semiconductors--Design and construction

Includes bibliographical references and index.