Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

• Tác giả: T Makabe, Z Petrović
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN: 9781482222050 (hardcover : alk. paper)
• Ký hiệu phân loại: 621.044 Plasma engineering
• Mô tả vật lý: xxxv, 376 pages : , illustrations ; , 24 cm
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 273725
• Chủ đề: 1. Plasma engineering

Includes bibliographical references and index.