Measurement technology for micro-nanometer devices

• Tác giả: Haifei Bao, Jing Chen, Liguo Chen, Xiujian Chou, Dachao Li, Zongmin Ma, Tielin Shi, Chenyang Xue, Wendong Zhang
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 1118717961
• ISBN-13: 978-1118717967
• Ký hiệu phân loại: 621.38 Electronics, communications engineering
• Mô tả vật lý: xii, 329 pages : , illustrations ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 274823
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems--Testing; 2. Microtechnology--Measurement; 3. Nanotechnology--Measurement; 4. Physical measurements

Includes bibliographical references and index.