Màng nano TiO2 được chế tạo bằng phương pháp phun nhiệt phân dung dịch TiCL4 trên đế thủy tinh. Thành phần pha và cấu trúc của màng được xác định bắng phân tích giản đồ XRD, hình thái học bề mặt được thực hiện bằng phân tích ảnh SEM và AFM. Khả năng quang xúc tác của màng được đánh giá qua khả năng phân hủy methylene xanh dưới chiếu sáng của đèn halogen. Kết quả khảo sát cho thấy màng hình thành có cấu trúc nanođơn pha anatase, màng cỏ khả năng phân hủy methylene xanh tương đối mạnh. Điều này mở ra khả năng ứng dụng của màng trong việc xử lý môi trường. Từ Khóa : Màng nano TiO2 phun nhiệt phân, quang xúc tác màng nano TiO2Nano TiO2 films were prepared by spray pyrolysis method from TiCl4 solution onto glass substrate. Phase composition and structure of films were examined by pattern of XRD, and surface morphology of them were analyzed by SEM and AFM. Photocatalysis capability of the films were evaluated by blue methylene decomposed capability under illumination of halogen lamp. The experimental data showed that the forming films had single phase and anatase nanostruture, they can decompose blue methylene relatively strong. This open applied capability of nano TiO2 films on enviromental treatment Keywords: sprays pyrolysis nano TiO2 films ,nano TiO2 film photocatalysis.