NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CÁC THÔNG SỐ KẾT CẤU ĐẾN ĐẶC TRƯNG ĐỘNG LỰC HỌC CỦA DẦM MICRO CÓ HÌNH DẠNG PHỨC TẠP

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Văn Tùng Bùi, Văn Thể Vũ

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: Journal of Science and Technique, 2023

Mô tả vật lý: tr.16

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 340974

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Bài báo tiến hành khảo sát xác định các thông số động lực học đặc trưng của hai dầm kích thước micro được ứng dụng phổ biến trong các thiết bị vi cơ điện tử khi thay đổi các thông số kết cấu của dầm. Kết quả nghiên cứu cho thấy các thông số kích thước của dầm có ảnh hưởng trực tiếp đến giá trị độ cứng tương đương và khối lượng quy đổi của dầm và quyết định đến đặc trưng động lực học của hệ dao động trong các thiết bị vi cơ điện tử. Chiều rộng dầm có mức độ ảnh hưởng mạnh mẽ đến các thông số động lực học theo hướng thuận, khi tăng chiều rộng lên 40%, độ cứng tương đương và khối lượng quy đổi tăng lần lượt là 162,15% và 33,58% với dầm gập
166,44% và 40% với dầm chữ V. Trong khi đó, khi chiều dài tăng 40%, khối lượng quy đổi của dầm gập và dầm chữ V tăng lần lượt là 34% và 40%, nhưng độ cứng tương đương thay đổi theo chiều hướng giảm, 62,84% và 62,96% lần lượt cho dầm gập và dầm chữ V. Kết quả này cho phép người thiết kế đưa ra những thay đổi cần thiết về kích thước dầm theo hướng thiết kế mong muốn.This article conducts a survey to determine the characteristic dynamic parameters of two micro beams commonly used in micro-electro-mechanical devices by varying the structural parameters of the beams. The results show that the geometrical parameters of the beams directly affect the equivalent stiffness and the effective mass of the beams and change the dynamic characteristics of the vibratory system in the micro-electro-mechanical devices. The width of beams strongly affects the dynamic parameters, when the width is increased by 40%, the equivalent stiffness and the converted mass increase by 162.15% and 33.58% respectively with the folded beam
166.44% and 40% for V-shaped beams. While, when the length is increased by 40%, the converted mass of the folded beam and V-shaped beam increases by 34% and 40% respectively, but the equivalent stiffness changes in the decreasing direction, 62.84% and 62.96% respectively for folded and V-shaped beams. These obtained results allow the designer to make necessary changes the geometrical parameters in purpose.

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR