Hạt nano TiO2 có kích thước tinh thể dưới 15 nm được điều chế từ tiền chất TiCl4 bằng phương pháp sol-gel biến tính. Các hạt nano TiO2 đã điều chế được xác định đặc trưng bằng phép đo nhiễu xạ tia X và kích thước tinh thể của chúng được tính toán bằng công thức Debye-Scherrer. Thành phần pha và kích thước tinh thể của hạt nano TiO2 phụ thuộc vào các thông số phản ứng bao gồm nồng độ TiCl4, nhiệt độ phản ứng, nhiệt độ ủ và chất hoạt động bề mặt. Kích thước tinh thể tăng khi tăng nhiệt độ ủ. Quá trình chuyển pha vô định hình-anatase xảy ra ở nhiệt độ 400 - 450°C và quá trình chuyển pha anatase-rutil xảy ra ở khoảng nhiệt độ 700°C.TiO2 nanoparticles with crystallite size less than 15 nm were prepared from TiCl4 precursor by a modified sol-gel route. As-prepared TiO2 nanoparticles were extensively characterized using X-ray diffractometry, and their crystallite size was calculated using Debye-Scherrer formula. The phase composition and crystallite size of TiO2 nanoparticles were dependent on reaction parameters including TiCl4 concentration, reaction temperature, annealing temperature, and surfactant. The crystallite size increases with increasing annealing temperature. Amorphous-anatase phase transition occurs at 400 - 450°C and anatase-rutile phase transition occurs at ca. 700°C.