Nanofabrication using focused ion and electron beams : principles and applications

• Tác giả: Stanislav Moshkalev, Phillip Russell, Ivo Utke
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN: 9780199734214 (hardcover : alk. paper)
• Ký hiệu phân loại: 620.115 Engineering and allied operations
• Thông tin xuất bản: Oxford ; New York : Oxford University Press, 2012.
• Mô tả vật lý: xvi, 813 p. : , ill. ; , 27 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 348655
• Chủ đề: 1. Electron beams--Industrial applications; 2. Ion bombardment--Industrial applications; 3. Nanostructured materials; 4. Nanotechnology

Includes bibliographical references and index.