Purpose: Compare percent depth dose (PDD) and off-center ratio (OCR) measured by the CC13ionization chamber and the RAZOR silicon diode in small photon beams.Method and Materials: Some dosimetric characteristics, such as PDD, OCR, penumbra and radiationfield size, were considered in this study for 2x2, 3x3, and 4x4 cm2 field sizes. We used the CC13 ionization chamber and the RAZOR silicon diode to measure dose distribution with depth along the axis and off-centerof the beam. From the results obtained, the team investigated the differences in radiation parameters mea- sured by the two types of probes above.Results: There are significant differences in the radiation parameters investigated for the CC13 ioniza- tion chamber and the RAZOR silicon diode, especially the width of penumbra. For PDD curves, the differ- ence is less than 5% from dmax to 30 cm, however the difference becomes greater in the build-up region,which reaches to 33% at the water phatom surface. The width of penumbra measured by CC13 is alwayslarger than that of RAZOR, the ratio of the penumbra width between two detectors is 1.8 and 1.3 for ener- gies of 6 MV and 15 MV, respectively.Conclusion: The RAZOR silicon diode has better dose response than the CC13 ionization chamber formeasuring the PDD and the OCR in small photon beams.So sánh phân bố liều bức xạ theo độ sâu (PDD) và theo phương ngang (OCR) được đo đạc bởi buồng ion hóa CC3 và diode bán dẫn RAZOR đối với một số trường chiếu nhỏ. Có sự khác nhau đáng kể trong các thông số bức xạ được khảo sát đối với buồng ion hóa CC13 và diode bán dẫn RAZOR, đặc biệt là kích thước vùng bán dạ. Đối với PDD, sự khác nhau nhỏ hơn 5% từ độ sâu dmax tới 30 cm, tuy nhiên sự khác nhau trở lên lớn hơn ở vùng build-up, lên tới 33% tại bề mặt phantom nước. Độ rộng vùng bán dạ đo được bởi CC13 luôn lớn hơn so với RAZOR, tỉ số về độ rộng vùng bán dạ giữa hai loại đầu đo này là 1,8 và 1,3 tương ứng cho năng lượng 6 MV và 15 MV. Diode bán dẫn RAZOR phù hợp hơn buồng ion hóa CC13 khi đo đạc phân bố liều theo độ sâu và theo phương ngang đối với các trường chiếu nhỏ.