Chế tạo vi mạch: Công nghệ in khắc nano sẽ soán ngôi công nghệ phơi sáng dùng tia cực tử ngoại?

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Lương Mô Đặng

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: Tạp chí Khoa học và Công nghệ Việt Nam - A, 2024

Mô tả vật lý: tr.55

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 380991

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Hiện nay, trong chế tạo vi mạch, công nghệ phơi sáng dùng tia cực tử ngoại (EUV) trong quy trình quang khắc (Lithography) đang chiếm địa vị “độc tôn”. Công ty ASML (Hà Lan) hiện là nhà cung cấp hàng đầu thế giới về thiết bị quang khắc cho ngành công nghiệp bán dẫn...

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR