Điện trở của màng mỏng dẫn điện là một thông số rất quan trọng, nói chung, có ảnh hưởng lớn đến tính chất vật lý của màng, đặc biệt là các tính chất cấu trúc, điện và quang học ... Do đó, việc đo điện trở của màng mỏng, nhất là đối với màng nhiều lớp. , là một bước rất quan trọng. Bài báo này giới thiệu một phương pháp 'đo điện trở của màng mỏng bằng phương pháp bốn đầu dò