Mô phỏng quá trình chịu tải của màng mỏng Nanocomposite TiC/a-C phủ bằng phương pháp phún xạ magnetron

• Tác giả: Bùi Xuân Lâm, Lê Hiếu Giang, Lê Văn An, Trịnh Thái Hưng
• Ngôn ngữ: vie
• Ký hiệu phân loại: 620.5 Nanotechnology
• Thông tin xuất bản: Giao thông vận tải, 2019
• Mô tả vật lý: 78-82
• Bộ sưu tập: Metadata
• ID: 387696

Tóm tắt

Bài báo trình bày kết quả đo độ cứng nano màng nanocomposite TiC/a-C và mô hình tạo vết lõm nano sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn.
* Phần mềm mô phỏng ABAQUS được sử dụng trong nghiên cứu này. Màng mỏng nanocomposite được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron đồng thời các tia Ti và C trong plasma Ar. Các mô hình mô phỏng đường cong đặt tải - dỡ tải cho thấy ảnh hưởng của cấu trúc và tính chất vật liệu màng đến biến dạng dẻo trong suốt quá trình tạo vết lõm nano. Các kết quả mô phỏng bằng đường cong tải - chuyển vị phù hợp với kết quả thí nghiệm.