Mục tiêu của bài báo là xây dựng mô hình tính toán cho dạng màng mỏng chịu tải bởi đầu đâm nano Berkovich. Chúng tôi cải thiện phương pháp phần tử hữu hạn (PTHH) truyền thông bằng việc làm mịn lưới kiểu H trong phân tích PTHH nhằm mô phỏng, phân tích, đánh giá tính hiệu quả sai số trên chuẩn năng lượng theo sự phân bố ứng suất trong màng mỏng và mức độ hội tụ của phương pháp sử dụng ngôn ngữ lập trình Abaqus và là tiên đề nghiên cứu phát triển, ứng dụng vật liệu nano cho ứng dụng trong công nghiệp và đặc biệt là phân tích tính chất cơ học cho các vật liệu màng mỏng.