Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Văn Hiếu Nguyễn, Văn Toán Nguyễn

Ngôn ngữ: Vie

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: Khoa học và Công nghệ các trường Đại học Kỹ thuật 2019

Mô tả vật lý: 53-57

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 403272

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Giới thiệu một số kết quả nghiên cứu ban đầu về việc chế tạo cảm biến khí C2H5OH trên cơ sở màng mỏng WO3 bằng phương pháp phún xạ cathode kết hợp với kỹ thuật quang khắc. Hình thái bề mặt, vi cấu trúc của lớp nhạy khí và tính chất nhạy khí C2H5OH ở các nhiệt độ khác nhau của cảm biến cũng được nghiên cứu một cách hệ thống.

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR