Để nghiên quá trình phay micro, phương pháp phần tử hữu hạn (FEM) đã được sử dụng để xây dựng các mô hình và tiến hành mô phỏng cho quá trình phay micro. Nghiên cứu này sử dụng vật liệu thép Niken Inconel 718 làm vật liệu phôi vì khả năng khó gia công của vật liệu trong điều kiện gia công micro. Mô hình tương tác giữa dụng cụ và chi tiết gia công được xây dựng cùng với các điều kiện biên nhằm phân tích sự thay đổi của lực phay trong quá trình gia công micro. Các trường hợp mô phỏng với lượng ăn dao khác nhau đã được thực hiện với sự trợ giúp của phần mềm Abaqus. Kết quả thu được từ mô phỏng phay micro đã mô tả được quá trình hình thành phoi, giá trị của lực cắt đã được theo dõi và cho thấy mối quan hệ giữa lực cắt và lượng ăn dao. Ngoài ra, các dữ liệu từ nghiên cứu này đặt nền tảng lý thuyết cho các tối ưu hóa và thiết lập các thí nghiệm tiếp theo nhằm nâng cao các hiểu biết về quá trình phay micro., Tóm tắt tiếng anh, To study the micro-milling process, the finite element method (FEM) has been used to build models and simulation processes for the micro-milling process. This study uses Niken Inconel 718 steel as a hazardous material because of its machinability in micromachining conditions. The interaction model between the tool and the work piece is built together with the boundary conditions to analyze the change of phase force during the micro-machining process. Simulations with different feed rates were performed with the help of Abaqus software. The results obtained from the micro-milling simulation described the chip formation process, the value of the cutting force was monitored and showed the relationship between the cutting force and the feed. In addition, the data from this study lays the theoretical foundation for optimizations and sets up further experiments aimed at improving understanding of the micro-milling process