Hiện nay có nhiều phương pháp tạo màng ZNO và ZnO: Al. Đó là: Catot bức xạ, epitaxy bằng chùm phân tử, sol-gel, Phun tĩnh điện, Oxy hóa màng kim loại Zn, bay hơi nhiệt trong chân không, Phun dung dịch lên đế nóng. Trong bài báo này, tác giả trình bày tổng quan về phương pháp chế tạo màng ZnO và ZnO:Al và kết quả nghiên cứu cấu trúc của màng ZnO và ZnO:Al. , Tóm tắt tiếng anh, Currently there are many methods to create ZNO and ZnO films : Al. That are: Radiation cathode, epitaxy by molecular beam, sol-gel, Electrostatic spray, Oxidation of Zn metal membranes, heat evaporation in the vacuum, Spray solution on the hot sole. In this paper, the author presents an overview of the preparation method of ZnO and ZnO:Al films and the results of structural studies of ZnO and ZnO:Al films.