Bài báo này trình bày về kết quả nghiên cứu, tính toán, chế tạo màng khử phản xạ 3 lớp sử dụng cặp vật liệu SiO2/SiO trên máy bốc bay chân không BOC ADWARDS FL500. Kết quả nghiên cứu sử dụng đánh giá về những ảnh hưởng của tốc độ bốc bay màng tới chất lượng màng khử phản xạ đa lớp, trong vùng cận hồng ngoại, vùng hồng ngoại bước sóng ngắn.