Trong nghiên cứu này, chúng tôi nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ ủ lên hình thái, cấu trúc, và tính chất quang của màng mỏng vật liệu nanocomposite ZnO/SiO2 Er3+. Màng mỏng được chế tạo bằng phương pháp sol-gel kết hợp quá trình quay phủ. Thông qua các phép đo nhiễu xạ tia X (XRD) và hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM), hình thái và cấu trúc của vật liệu đã được nghiên cứu và được xem là một hàm phụ thuộc vào nhiệt độ ủ. Ở nhiệt độ ủ 700 o C, cường độ đỉnh phát xạ đặc trưng của ion Er3+ tại 1540 nm tương ứng với quá trình chuyển mức từ 4 I13/2 -4 I15/2 đạt giá trị lớn nhất. Cơ chế truyền năng lượng gián tiếp từ từ các tinh thể nano ZnO sang ion đất hiếm Er3+ được thảo luận thông qua phổ huỳnh quang vật liệu khi kích thích ở bước sóng 325 nm.