Bài báo trình bày kết quả nghiên cứu chế tạo nano SiO2 hình cầu bằng phương pháp thuỷ phân dưới sự hỗ trợ của sóng âm. Một số tính chất của nano SiO2 như hình thái học bề mặt, sự phân bố cỡ hạt, thành phần pha, liên kết hoá học được khảo sát, phân tích sử dụng các phương pháp kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM)
tán xạ ánh sáng động (DLS), phổ X-ray (XRD) và phổ hồng ngoại (FT-IR). Kết quả cho thấy với điều kiện tổng hợp thời gian 5 giờ, nhiệt độ 65 oC thu được nano SiO2 dạng cầu, cỡ hạt phân bố tương đối đồng đều, kích thước hạt trung bình ~ 60 nm và thành phần pha cristobalite chiếm ưu thế.