Chế tạo và kiểm tra đặc điểm của thanh mềm công xôn ở kích thướt micro

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Thi Thao Khuong Pham, Van Phat Pham

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại: 621 Applied physics

Thông tin xuất bản: Tạp chí Khoa học và Công nghệ Đại học Đà Nẵng , 2022

Mô tả vật lý: 67-74

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 422928

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Thanh mềm công xôn đã trở thành một cấu trúc phổ biến được sử dụng trong nhiều hệ thống vi cơ điện tử (MEM). Ví dụ, thanh công xôn áp điện được gắn vào cảm biến áp suất do Memscap sản xuất hoặc được sử dụng rộng rãi trong máy phát điện MEMs, nhằm thu năng lượng từ rung động. Trong bài báo này, thanh công xôn được thiết kế và chế tạo trên các tấm silicon. Phần mềm L-Edit dùng để thiết kế hai mặt nạ cho bước phơi sáng. Quá trình chế tạo bao gồm quang khắc, bay hơi nhiệt đồng và khắc được thực hiện để đạt được các thanh công xôn như thiết kế. Độ dày của mỗi lớp được đo sau mỗi bước để khảo sát chiều cao của công xôn so với nền. Tất cả các công việc trong phòng thí nghiệm và kết quả đã đạt được, sẽ được trình bày chi tiết trong báo cáo này.

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR