MEMS [electronic resource] : introduction and fundamentals

• Tác giả: Mohamed Gad-el-Hak
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0849391377
• Ký hiệu phân loại: 621.381 Electronics
• Thông tin xuất bản: Boca Raton : CRC/Taylor & Francis, 2006
• Mô tả vật lý: 1 v. (various pagings) : , ill. ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 42432
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems; 2. Microelectronics; 3. Nanotechnology

Includes bibliographical references and index.