Micro electro mechanical system design [electronic resource]

• Tác giả: James J Allen
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0824758242
• Ký hiệu phân loại: 621 Applied physics
• Thông tin xuất bản: Boca Raton : Taylor & Francis, 2005.
• Mô tả vật lý: 465 p. : , ill. ; , 23 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 42445
• Chủ đề: 1. Engineering design; 2. Microelectromechanical systems--Design and construction

Includes bibliographical references and index.