Microengineering, MEMS, and interfacing [electronic resource] : a practical guide

• Tác giả: Danny Banks
• Ngôn ngữ: eng
• Ký hiệu phân loại: 621 Applied physics
• Thông tin xuất bản: Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis, 2006.
• Mô tả vật lý: 326 p. : , ill. ; , 24 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 42447
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems

Includes bibliographical references and index.