Ảnh hưởng của nhiệt độ và thời gian sấy đến lớp vật liệu cản quang Su-8 sử dụng làm mặt nạ cứng trong kỹ thuật quan học khắc sâu

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Tuấn Anh Bùi

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: Khoa học và Công nghệ (Trường ĐH Công nghiệp HN), 2020

Mô tả vật lý: 58-62

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 427577

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Biên dạng bề mặt của thiết bị hội tụ Fresnel trong quá trình chế tạo phụ thuộc vào nhiều yếu tố bao gồm độ dày, độ phẳng và độ rõ nét hoa văn của lớp cản quang (PR) được sử dụng làm mặt nạ cứng trong kỹ thuật quang khắc Si. Vật liệu cản quang SU-8 với độ nhớt cao, có khả năng tạo ra các lớp cản quang có độ dày lớn, có thể được sử dụng làm mặt nạ cứng trong quy trình chế tạo thiết bị hội tụ Fresnel. Tuy nhiên, để đạt được độ dày màng khoảng 10µm với yêu cầu bề mặt phẳng và không có bọt khí sau các giai đoạn sấy là rất khó khăn. Bài báo này trình bày ảnh hưởng của nhiệt độ và thời gian sấy lên chất lượng của màng vật liệu cản quang SU-8. Theo đó, để đạt được chất lượng cần thiết của lớp cản quang, giai đoạn sấy gồm hai bước đã được sử dụng. Thời gian và nhiệt độ cho sấy mềm tương ứng là 60 phút và 60°C, trong khi giai đoạn sấy sau phơi sáng phải được giữ ở 90°C trong khoảng một giờ. Kết quả thử nghiệm cho thấy các khuyết tật trên lớp vật liệu cản quang bao như các vết nứt, bọt khí đã được loại bỏ. Do đó, các thông số sấy này là phù hợp cho ứng dụng đã sử dụng màng cản quang dày làm mặt nạ cứng trong quy trình quang khắc sâu.

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR