Muối hydrat tecbi florua (TbF3.nH2O) được điều chế từ dung dịch tecbi clorua (TbCl3) với các tác nhân kết tủa amoni bicacbonat (NH4HCO3) và axit hydro floric (HF). Quá trình khan hóa TbF3.nH2O được thực hiện trong lò nung ống với sự có mặt của khí argon trong quá trình nung. Ảnh hưởng của các tác nhân đến quá trình kết tủa và điều kiện khan hóa đã được nghiên cứu. Phương pháp phân tích nhiệt được áp dụng để lựa chọn khoảng nhiệt độ khan hóa. Sản phẩm thu được từ quá trình điều chế được đánh giá bằng phương pháp nhiễu xạ tia X (XRD), kính hiển vi điện tử quét (SEM) và phổ nhiễu xạ năng lượng (EDS). Kết quả cho thấy, sản phẩm TbF3 khan có độ tinh khiết cao, kích thước hạt dao động trong khoảng 200 đến 700 nm, phù hợp làm nguyên liệu để điều chế tecbi (Tb) kim loại.