Ảnh hưởng của nhiệt độ lắng đọng lên cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng mỏng ZnO pha tạp F được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron.

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Văn Dũng Hoàng, Minh Nhựt Ngô, Hữu Trương Nguyễn, Thanh Tuấn Anh Phạm, Bách Phan

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: Tạp chí Khoa học và Công nghệ Việt Nam, 2019

Mô tả vật lý:

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 433899

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Màng mỏng trong suốt dẫn điện ZnO pha tạp F (FZO) được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron từ bia gốm ZnO pha tạp ZnF2. Cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng FZO được nghiên cứu theo sự thay đổi nhiệt độ lắng đọng (100-300oC), bằng các phương pháp như phổ nhiễu xạ tia X (XRD), phép đo Hall và phổ truyền qua UV-Vis. Kết quả XRD cho thấy các màng FZO đều có cấu trúc đặc trưng hexagonal wurtzite của ZnO, với định hướng ưu tiên theo trục c vuông góc với bề mặt đế. Về tính chất điện, độ linh động điện tử của màng tăng đơn điệu khi nhiệt độ tăng do chất lượng tinh thể được cải thiện, trong khi đó, nồng độ hạt tải đạt cực đại ở 200oC. Độ truyền qua trung bình của các màng FZO đều trên 83% trong dải bước sóng rộng (400-1100 nm). Sự dịch chuyển xanh của bờ hấp thu kèm theo độ mở rộng năng lượng vùng cấm phù hợp với hiệu ứng Burstein-Moss.Từ khóa cấu trúc tinh thể, màng mỏng, nhiệt độ lắng đọng, ZnO pha tạp F.Chỉ số phân loại 2.5

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR