Vật liệu nano đa tinh thể ZnO được chế tạo bằng phương pháp sol-gen kết hợp quay phủ đa lớp và ủ nhiệt ủ nhiệt. Vật liệu được chế tạo là đơn pha tinh thể có cấu trúc lục giác wurtzite, đồng nhất với các hạt đơn tinh thể dạng cầu kích thước 20 - 30 nm. Trong nghiên cứu này, chúng tôi đã thử nghiệm chế tạo các mẫu ZnO trong các điều kiện khác nhau (môi trường, nhiệt độ ủ, số lớp, thời gian ủ), khảo sát hình thái hạt và cấu trúc tinh thể thông qua XRD, SEM, tính chất quang được khảo sát thông qua phổ huỳnh quang. Kết quả điều kiện chế tạo tối ưu được đề xuất là ủ trong khí Argon ở 3500C trong 12h. Các mẫu được chế tạo ở điều kiện này giảm bớt nhiều vùng phát xạ huỳnh quang do sai hỏng.