Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Thị Hải Yến Nguyễn, Thị Phương Thủy Nguyễn, Hoài Phương Phạm, Quang Trang Trần

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại: 660 Chemical engineering and related technologies

Thông tin xuất bản: Tạp chí Khoa học - Đại học Đồng Nai, 2019

Mô tả vật lý: 115-122

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 442792

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Màng mỏng SnO được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC với bia phún xạ kim loại thiếc và khí phản ứng oxi, nhiệt độ đế (Ts) thay đổi từ 150oC đến 300oC trong suốt quá trình phún xạ. Khi nhiệt độ đế thay đổi từ 150oC đến 300oC thì có sự xuất hiện các pha ngoại lai β-Sn và SnO2 trong cấu trúc màng SnO. Các đặc trưng của màng SnOx được đánh giá thông qua phổ UV-Vis, giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD), hiệu ứng Hall, hình thái bề mặt bằng ảnh AFM. Màng SnO chế tạo ở nhiệt độ 250oC có tính chất điện tốt nhất, có nồng độ hạt tải NH = 1,552.1017cm-3, độ linh động μ = 7,581 cm2/Vs, điện trở suất ρ = 5,31 (Ωcm) và độ dẫn σ = 0,19 (Ω-1cm-1) và không xuất hiện hiện các pha ngoại lai, β-Sn và SnO2 đủ điều kiện cơ bản ứng dụng làm lớp thu lỗ trống trong linh kiện quang điện.,

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR