Chế tạo màng mỏng SnO2 pha tạp Zn bằng phương pháp phun áp suất ứng dụng cho cảm biến nhạy hơi cồn

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Trần Chiến Đặng, Thị Lan Hương Phạm, Văn Vinh Phạm

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: Khoa học (Đại học Thủ Đô), 2022

Mô tả vật lý: 71 - 78

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 445035

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Màng mỏng SnO2 và SnO2 pha tạp Zn được phủ trên đế thủy tinh bằng hệ phun áp suất sử dụng muối SnCl2.2H2O và Zn (CH3COO) 2.2H2O làm tiền chất. Ảnh hưởng của nhiệt độ chế tạo và nồng độ tạp chất Zn lên cấu trúc tinh thể của màng SnO2 và SnO2 pha tạp Zn đã được khảo sát bằng XRD. Kết quả cho thấy màng SnO2 với cấu trúc tứ giác đã bắt đầu kết tinh ở nhiệt độ 370oC và kết tinh tốt ở nhiệt độ trên 400oC. SnO2 vẫn giữ nguyên cấu trúc tinh thể khi nồng độ tạp chất Zn lên đến 2%. Nếu tiếp tục tăng nồng độ Zn tăng hơn nữa thì sẽ có thêm nhiều pha tinh thể của oxit kẽm. Hình thái bề mặt của các màng quan sát bằng ảnh SEM cho thấy các tinh thể SnO2 phân bố khá đồng đều với kích thước nhỏ hơn 100nm. Kích thước tinh thể giảm nhẹ khi nồng độ tạp chất tăng. Tạp chất ảnh hưởng rất nhiều đến độ nhạy hơi cồn của màng. Độ nhạy của màng tinh khiết tăng lên khi nhiệt độ làm việc của nó tăng lên. Tính chất này vẫn còn duy trì ngay khi ở vùng nhiệt độ khá cao. Độ nhạy của màng pha tạp Zn tăng lên khi nhiệt độ làm việc của nó tăng lên đến 350oC. Nhiệt độ tăng hơn nữa sẽ làm giảm độ nhạy. Ở nhiệt độ làm việc tối ưu, các màng pha tạp với nồng độ 2% Zn thể hiện độ nhạy tốt nhất.

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR