Ảnh hưởng pha tạp N đến tính chất cảm biến quang của cấu trúc dị thể p-SnO2 đồng pha tạp Zn và N/ n-Si

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Hữu Phúc Đặng, Trấn Lê

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại: 535 Light and infrared and ultraviolet phenomena

Thông tin xuất bản: Phát triển Khoa học và Công nghệ: Khoa học Tự nhiên (ĐHQG TP. Hồ Chí Minh), 2021

Mô tả vật lý: 1157-1166

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 450245

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Công trình này nghiên cứu ảnh hưởng của đồng pha tạp Zn và N đến cấu trúc tinh thể, tính chất điện và hiệu ứng quang điện của cấu trúc dị thể p-SnO2:Zn-N/n-Si. Các màng SnO2 đồng pha tạp Zn và N (ZNTO) được lắng đọng trên đế silic loại n ở 300oC trong hỗn hợp khí phún xạ Ar/N2 khác nhau (%N = 0%, 30%, 50%, 60%, 70% và 80%) từ bia SnO2 chứa pha tạp 5 wt % ZnO bằng phương pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể, hình thái bề mặt, thành phần hóa học, tính chất điện và hiệu ứng quang điện của màng ZNTO được khảo sát bằng các phép đo như nhiễu xạ tia X, FESEM, AFM, EDS, Hall và I-V. Kết quả thu được cho thấy tất cả các màng đều có cấu trúc tứ giác rutile và mặt SnO2 (101) là mặt trội ở điều kiện chế tạo tối ưu nhất 70% N2. Sự thay thế Sn4+bởi Zn2+ hay O2-bởi N3-được chứng minh bởi giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD), phổ tán xạ năng lượng tia X (EDS). Điện trở suất thấp nhất đối với màng ZNTO-5-70 là ρ = 6,50×10-2Ω.cm, tương ứng nồng độ hạt tải n = 1,46×1019 cm-3và µ = 6,52 cm2 .V-1 .s-1 . Đặc trưng I-V của cấu trúc p–ZNTO–5–y/n–Si ở điều kiện chiếu sáng cho thấy tính chất điện loại p của các màng ZNTO–5–y và khả năng ứng dụng làm cảm biến quang. Ngoài ra, đặc trưng dòng đáp ứng quang của các màng ZNTO–5–y có độ nhạy cao và lặp lại tốt.

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR