Nghiên cứu cấu trúc của màng ZnO: Ag chế tạo bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Khắc Hiếu Hồ, Thị Diệu Thu Nguyễn, Thị Hồng Hạnh Nguyễn, Việt Tuyên Nguyễn, Nguyên Hải Phạm, Thị Hà Trần, Thị Ngọc Anh Trần, Ngô Minh Thăng Trịnh

Ngôn ngữ: Vie

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: Tạp chí Khoa học và Công nghệ, Đại học Duy Tân, 2021

Mô tả vật lý: 32-36

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 454989

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

Tóm tắt
Chủ đề

Bài báo này trình bày một số kết quả nghiên cứu chế tạo màng mỏng trong suốt ZnO: Ag (0% - 4%) trên đế thủy tinh hoặc Si, bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron. Ảnh hưởng của 3 mức công suất phún xạ là 125W, 150W, 175W lên tính chất của màng mỏng chế tạo trong môi trường Ar ở áp suất cố định 1 Pa đã được khảo sát. Cấu trúc của màng mỏng được nghiên cứu bằng các phương pháp nhiễu xạ tia X và tán xạ Raman. Kết quả cho thấy màng thu được có độ kết tinh tốt, có thể ứng dụng trong lĩnh vực điện tử hoặc quang điện tử.

Tạo bộ sưu tập với mã QR