Trong nghiên cứu này, chúng tôi mô tả hoạt động của bộ biến đổi năng lượng áp điện và mô hình cơ điện của thiết bị thu năng lượng áp điện (PEH) dựa trên hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) cho các cảm biến công suất thấp. Cân nhắc được đưa ra cho một bộ thu năng lượng áp điện dựa trên MEMS tiêu chuẩn. Các tham số được xác định và tối ưu hóa bằng cách sử dụng mô hình đúc hẫng MEMS đơn giản. Trên đế Đồng thau, mô hình sử dụng một lớp vật liệu áp điện. Chúng tôi đã sử dụng các mô hình phương pháp phần tử hữu hạn (FEM) được tạo bằng các công cụ phần mềm NanoHUB và COMSOL để phân tích hành vi cơ điện của các thiết bị thu năng lượng áp điện (PEH) dựa trên MEMS. Mô hình cơ điện được áp dụng để dự đoán phản ứng điều hòa và phương thức của các thiết bị PEH. Bằng cách sử dụng phân tích phương thức, tần số cộng hưởng là 182 Hz đối với các kiểu FEM của thiết bị PZT-5H PEH thông qua NanoHUB và COMSOL. MEMS mô phỏng có thể cung cấp điện áp từ 1,7 đến 1,9 mV, công suất đầu ra 0,074 μW. Điện áp và công suất đầu ra được tạo ra có thể được tăng lên bằng cách kết nối các lớp áp điện song song và nối tiếp. Và các cảm biến Internet of Things (IoT) có thể được điều khiển bởi mảng thiết bị này.