MEMS [electronic resource] : design and fabrication

• Tác giả: Mohamed Gad-el-Hak
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0849391385
• Ký hiệu phân loại: 621.381 Electronics
• Thông tin xuất bản: Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis, 2006
• Mô tả vật lý: 1 v. (various pagings) : , ill. ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 47102
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems--Design and construction; 2. Microfabrication

Includes bibliographical references and index.