Introduction to microelectromechanical systems engineering

• Tác giả: Nadim Maluf, Kirt Williams
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 1580535909
• Ký hiệu phân loại: 621.381 Electronics
• Thông tin xuất bản: Boston : Artech House, 2004
• Mô tả vật lý: xx, 283 p. : , ill. ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 47219
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems

Includes bibliographical references and index.