MEMS mechanical sensors

• Tác giả: Stephen Beeby
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 1580535364
• Ký hiệu phân loại: 681 Precision instruments and other devices
• Thông tin xuất bản: Boston : Artech House, 2004
• Mô tả vật lý: x, 269 p. : , ill. ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 47321
• Chủ đề: 1. Detectors; 2. Microelectromechanical systems

Includes bibliographical references and index.