Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ mems

• Tác giả: Hữu Nam Bùi, Tiến Dũng Nguyễn, Văn Quân Trần
• Ngôn ngữ: vie
• Ký hiệu phân loại: 620 Engineering and allied operations
• Thông tin xuất bản: Khoa học và công nghệ (đại học thái nguyên), 2014
• Mô tả vật lý: 141-146
• Bộ sưu tập: Metadata
• ID: 484667

Tóm tắt

Micro-motors based on MEMS technology are recently researched and developed world-wide. This paper presents design, simulation of a micro-motor using V-shaped electro-themal actuator. This motor has cover diameter of 2.4mm, can operate with minimum applying voltage Umin = 19V and driving frequency ranging from 1 to hundreds Hz. Advantages of this motor are lower driving voltage, simple control and batch fabrication based on bulk-micromachining technology.