Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ mems

 0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Hữu Nam Bùi, Tiến Dũng Nguyễn, Văn Quân Trần

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại: 620 Engineering and allied operations

Thông tin xuất bản: Khoa học và công nghệ (đại học thái nguyên), 2014

Mô tả vật lý: 141-146

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 484667

Micro-motors based on MEMS technology are recently researched and developed world-wide. This paper presents design, simulation of a micro-motor using V-shaped electro-themal actuator. This motor has cover diameter of 2.4mm, can operate with minimum applying voltage Umin = 19V and driving frequency ranging from 1 to hundreds Hz. Advantages of this motor are lower driving voltage, simple control and batch fabrication based on bulk-micromachining technology.
Tạo bộ sưu tập với mã QR

THƯ VIỆN - TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TP.HCM

ĐT: (028) 71010608 | Email: tt.thuvien@hutech.edu.vn

Copyright @2024 THƯ VIỆN HUTECH