This paper presents a micro linear motor with simulation and measurement of electro-thermal actuators based on thermal expansion of V-shape silicon beams when applying a voltage. The processes have been carried out with three types of motors with different numbers of thermal expansion beams, i.e. 3, 6 and 10 in V = 5 ÷ 30V voltage range. In theoretical calculations, the driving force increase with the larger number of actuator beams but the displacements is constan . Measured displacements of the motor shuttle are from 12 to 18 μm and driving force can reach tens of millinewton (mN). By measurement of the step displacement with driving frequency from 1 to 30 Hz, it can be seen that the optimal range of applied voltage is from 15 to 30 V. The advantages of the motor are small size, simple fabrication process with only single mask, high accuracy control.Trình bày tính toán và thiết kế mẫu vi động cơ tuyến tính sử dụng bộ kích hoạt điện nhiệt dạng chữ V. Tến hành khảo sát tính toán chuyển vị và lực tác động đối với các bộ kích hoạt có số dầm n=3, 6 và 10 với dải điện áp V = 5 ÷ 30V, chuyển vị của rotor động cơ đạt từ 12 đến 18 μm, lực nhiệt có thể đạt tới 10 millinewton (mN). Theo tính toán lý thuyết khi tăng số lượng dầm của bộ kích hoạt thì lực tác động tăng lên nhưng chuyển vị thì không đổi. Với các khảo sát đo đạc sơ bộ ban đầu, vi động cơ có thể hoạt động tốt với dải điện áp từ 15 đến 30 V trong dải tần số từ 1 đến 30 Hz. Ưu điểm của các mẫu vi động cơ này là có kết cấu đơn giản, nhỏ gọn, quy trình chế tạo đơn giản, tính chính xác cao, tỷ trọng công suất lớn.