Thiết kế và mô phỏng con quay hồi chuyển điều chỉnh MEMS đế tự do có độ nhạy tăng cường bằng việc giảm ma sát không khí

 0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả:

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại: 571.43 Bimechanics and effects of mechanical forces

Thông tin xuất bản: Khoa học và Công nghệ các trường đại học kỹ thuật, 2014

Mô tả vật lý: 74-78

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 506544

In this paper, the authors reporl the design and simulation of a freestanding micro-machined vibratory gyroscope. The design also enables the sensing mode to decouple from the driving one, which is considered to decrease vibration-induced error. The simulated frequencies of the driving and sensing modes are of about 4330 Hz and 4357 Hz, respectively. In order to improve the performance of the sensor, the damping effect also is considered. By removing the substrate underneath the device, the slide-film damping in the gap between proof masses and substrate, which plays a dominant role, is rejected, which enables sensor to achieve high Q-factors and vacuum-free packaging. The damping and behavior of a freestanding micro-machined vibratory gyroscope are discussed and simulated by ANSYS software. The sensitivity of the sensor is evaluated to be 0.406 pF/rad/s, 58 percent higher than that of non-freestanding design. The calculated Q-factors of non-freestanding and freestanding sensor are 156.25 and 238.09 (drive mode), 32.05 and 34.72 (sense mode), respectively. The freestanding gyroscope can possibly operate at atmospheric pressure.
Tạo bộ sưu tập với mã QR

THƯ VIỆN - TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TP.HCM

ĐT: (028) 71010608 | Email: tt.thuvien@hutech.edu.vn

Copyright @2024 THƯ VIỆN HUTECH