Mô hình hoá và mô phỏng quá trình tạo màng al2o3 bằng phun xạ magnetron

• Tác giả: Thành Đạt Huỳnh, Vũ Tuấn Hùng Lê, Văn Đến Nguyễn
• Ngôn ngữ: vie
• Ký hiệu phân loại: 003.3 Computer modeling and simulation
• Thông tin xuất bản: TC phát triển khoa học - công nghệ, 2007
• Mô tả vật lý: 45645
• Bộ sưu tập: Metadata
• ID: 519911