Nghiên cứu chế tạo sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ mems

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Phú Thuỳ Nguyễn, Ngọc Hùng Vũ

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại: 925.7 *Scientists

Thông tin xuất bản: Tự động hóa ngày nay, 2006

Mô tả vật lý: 27-28, 31

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 522519

Thêm vào giỏ

Tóm tắt
Chủ đề

Sensor gia tốc vi cơ điện tử (MEMS) rất được quan tâm nghiên cứu bởi khả năng ứng dụng to lớn của chúng trong điều khiển các hệ thống chuyển động như người máy, ô tô... Mặt khác sensor gia tốc MEMS có những ưu điểm nổi bật như độ nhạy cao, kích thước nhỏ và có thể chế tạo hàng loạt. Hiện nay xu hướng giảm thiểu kích thước cũng như nâng cao độ nhạy của sensor gia tốc đã được đặt ra. Trình bày một số kết quả nghiên cứu thiết kế chế tạo và đặc trưng của sensor gia tốc kiểu tụ.br

Tạo bộ sưu tập với mã QR