Thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử chế tạo trên vật liệu silic

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Đức Tân Trần

Ngôn ngữ: vie

Ký hiệu phân loại: 546.28 Inorganic chemistry

Thông tin xuất bản: Tự động hóa ngày nay, 2006

Mô tả vật lý: 62-63

Bộ sưu tập: Metadata

ID: 590513

Thêm vào giỏ

Công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) đã và đang tạo ra những thay đổi mang tính cách mạng trong chế tạo linh kiện biến năng kích thước micrô được ứng dụng trong các lĩnh vực truyền thông, điện tử dân dụng.... Bài viết trình bày kết quả mô phỏng, thiết kế một cấu trúc cảm biến gia tốc kiểu tụ đặc biệt, được chế tạo trên vật liệu silic.

1. Đọc trực tuyến

1. Đọc trực tuyến

Tạo bộ sưu tập với mã QR