Phương pháp kiểm định độ chân không trong chế tạo màng mỏng

• Ngôn ngữ: vie
• Ký hiệu phân loại: 620.112 Properties of materials and nondestructive testing
• Thông tin xuất bản: Hoạt động Khoa học, 2011
• Mô tả vật lý: 87-91
• Bộ sưu tập: Metadata
• ID: 621623

Tóm tắt

This paper presented some typical pressure gauge and the principle of their operating. These devices measure the vacuum level is power consumption pressure gauge, electric thermal pressure gauge and ionization pressure gauge. Besides, there are many information about the other important equipment in the production of thin films.