Enabling technology for MEMS and nanodevices

• Tác giả: H Baltes
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 352730746X
• Ký hiệu phân loại: 620.5 Nanotechnology
• Thông tin xuất bản: Weinheim [Germany] : Wiley-VCH, 2004.
• Mô tả vật lý: xii, 427 p. : , ill. ; , 25 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 65986
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems; 2. Microelectronics; 3. Nanotechnology

Includes bibliographical references and index.