Thiết kế và mô phỏng vi cảm biển áp suất kiểu tụ trên vật liệu silicon và polyme

• Tác giả: Mạnh Toàn Phạm
• Ngôn ngữ: vie
• Ký hiệu phân loại: 620.5 Nanotechnology
• Thông tin xuất bản: Khoa học, 2016
• Mô tả vật lý: 53-59
• Bộ sưu tập: Metadata
• ID: 660666

Tóm tắt

Bài báo trình bày mô hình một loại cảm biến áp suất kiểu tụ với khoảng đo áp suất từ 0 đến 1 atm