Computational lithography

• Tác giả: Gonzalo R Arce, Xu Ma
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 047059697X
• Ký hiệu phân loại: 621.381531 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
• Thông tin xuất bản: Hoboken, N.J. : Wiley, 2010
• Mô tả vật lý: xv, 236 p. : , ill. ; , 25 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 67201
• Chủ đề: 1. Integrated circuits--Design and construction; 2. Microlithography--Mathematics; 3. Photolithography--Mathematics; 4. Resolution (Optics); 5. Semiconductors--Etching

Includes bibliographical references and index.