A tip-tilt-piston electrothermal micromirror array with integrated position sensors.

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Yingtao Ding, Qiangqiang Liu, Teng Pan, Anrun Ren, Huikai Xie, Hengzhang Yang, Ziyue Zhang

Ngôn ngữ: eng

Ký hiệu phân loại:

Thông tin xuất bản: England : Microsystems & nanoengineering , 2025

Mô tả vật lý:

Bộ sưu tập: NCBI

ID: 693030

Thêm vào giỏ Liên kết toàn văn

A tip-tilt-piston 3 × 3 electrothermal micromirror array (MMA) integrated with temperature field-based position sensors is designed and fabricated in this work. The size of the individual octagonal mirror plates is as large as 1.6 mm × 1.6 mm. Thermal isolation structures are embedded to reduce the thermal coupling among the micromirror units. Results show that each micromirror unit has a piston scan range of 218 μm and a tip-tilt optical scan angle of 21° at only 5 V

Tạo bộ sưu tập với mã QR