Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

• Tác giả: T Makabe, Petrović
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0750309768
• ISBN-13: 978-0750309769
• Ký hiệu phân loại: 621.044 Plasma engineering
• Thông tin xuất bản: New York : Taylor & Francis, 2006
• Mô tả vật lý: 339 p. : , ill. ; , 25 cm
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 71278
• Chủ đề: 1. Plasma engineering

Includes bibliographical references and index