Thin film materials technology : sputtering of compound materials

• Tác giả: Hideaki Adachi, Makoto Kitabatake, Kiyotaka Wasa
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0815514832
• Ký hiệu phân loại: 621.3815 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
• Thông tin xuất bản: Norwich, NY Heidelberg : William Andrew Pub. ; Springer , 2004
• Mô tả vật lý: xiv, 518 p. : , ill. ; , 24 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 71522
• Chủ đề: 1. Cathode sputtering (Plating process); 2. Thin films

Includes bibliographical references and index.